半导体制程_IC芯片高速高精度贴片
客户要求:1,该方案采用高速、高精度、高动态特性的笛卡尔龙门坐标轴设计;
2,分辨率:1Vpp Sin/Cos (典型推荐分辨率5nm);
3,双向重复定位精度:±0.75μm(Base)±0.4μm(Plus);
4,定位精度(线性误差修正):±3μm(Base)±1μm(Plus);
5,正交误差:10arc sec;
6,最大工作速度:2000mm/s;
典型的应用领域
1,OLED面板切割;
2,IC芯片贴片;
3,高速高精度自动点胶;
4,新能源_锂电池焊接;
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