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半导体制程_PCB激光直写设备
二、客户技术要求
a)双向重复定位精度：±1.5μm；
b)直线度：±5μm；
c)平面度：±7.5μm；
d)偏航角误差：±5arc sec;
a)双向重复定位精度：±1.5μm；
b)直线度：±5μm；
c)平面度：±7.5μm；
d)偏航角误差：±5arc sec;
e)±0.5位置精度（稳态误差），1mm点定位时＜100ms；
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