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二维/六维角振动台
同茂音圈电机二维/六维角振动台（自由度平台）
1，产生标准角位移，角速度和角加速度；
2，采用正弦信号校准幅频和相频；
型 号：TMEC-V-40
镜面尺寸：300*300
负 载：5kg
行 程：θX, θY: ± 20urad
精 度：5urad
带 宽：150Hz
型 号：TMEC-V-60
镜面尺寸：400mm
负 载：5kg
行程：θX, θY，θZ: ± 10urad
分 辨 率：5nm
带 宽：10Hz
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