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激光扫描-高精密五轴联动
客户要求：
1，X轴有效匀速扫描距离：360mm，速度100mm/s，可以到速度300mm/s；
2，Y轴有效匀速扫描距离：500mm，速度100mm/s，可以到速度300mm/s；
3，旋转A：110度；旋转B：360度；速度60rad/s；
4，Z轴行程260mm，速度200mm/s；
5，重复定位精度5um以内；
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