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主动减振采用多个速度传感器、控制器以及多个音圈电机的组合，通过合理布置传感器和作动器的位置与方向，能实现六自由度控制的全解耦，应用灵活。同时被动隔振采用金属弹簧与隔振橡胶串联，采用调整机构实现被减振平台的高度调整和水平调节，使用中无须进行位置控制，亦可有效解决载荷偏心问题，隔振频率低至0.7Hz，隔振性效果显著，精密音圈电机驱动力大，灵敏、精度高， 控制模块配备先进前馈系统，六自由度控制，机械式组件，无需其他约束。
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