音圈电机非接触主动阻尼装置可以对光刻机及其他的精密设备平台实现精密减震

          音圈电机是通过电能直接产生直线电磁推力的，它在驱动装置中，其运动时无机械接触，使传动部件无磨损，从而大大减少了机械损耗；采用音圈电机驱动的传动装置，不需要任何转换装置而直接产生推力，因此可以省去中间转换机构，简化了整个装置或系统，保证了运行的可靠性，提高传递效率，降低制造成本，易于维护。

          在机械动力学领域，平板音圈电机可以用来生产制作非接触式主动阻尼装置；

          这种非接触式主动阻尼装置，包括音圈电机阻尼器和驱动器两部分，音圈电机阻尼器和驱动器电气连接，阻尼器包括固定不动的定子和与定子相分离的阻尼发生器，阻尼发生器相对于定子能够在一个方向上运动。阻尼装置由分离式动子和定子组成，通过主动控制方式调节驱动电路的驱动电流，从而实现阻尼力的主动控制。音圈电机阻尼装置能够实现对超精密减振器提供自适应变阻尼控制，有效地衰减减振台的高频振动。

          阻尼装置是一种提供运动阻力、耗减运动能量的装置。利用阻尼来吸能减振的技术在机械行业中应用极为普遍，从早期的航天、航空、军工、汽车等领域扩展至现在的机床、仪器、建筑、桥梁、铁路等工程结构中，其发展十分迅猛。

          传统的阻尼装置如弹簧阻尼装置、摩擦阻尼装置、液压阻尼装置、粘滞阻尼装置等多数为被动阻尼装置，只能隔离振源传至被隔离物体的高频振动，尽管部分阻尼装置的阻尼力可调，但这种调整不具有实时可控性。其次，传统的阻尼装置在工作过程中具有机械接触或以液体(气体)作为传力介质，隔振效果难以达到高精度设备和精密仪器的使用要求。另外，传统的阻尼装置虽然阻尼力大，承载能力强，但响应速度慢，瞬时稳定性差。

          为了克服传统阻力装置的不足，基于平板音圈电机非接触式主动阻尼装置，具有以下性能优势：

(1)音圈电机阻尼装置采用了非接触结构，阻尼发生器和座子之间没有任何的机械接触，结构紧凑，安装方便；

(2)由于阻尼力是靠电磁场产生的，所以该阻尼装置不需要任何的气体或液体等传力介质，工作条件简单，操作方便。

(3)阻尼装置的阻尼力是一种电磁力，所以该阻尼装置具有响应快、高加速度、高速度等特点，有效地衰减减振台的高频振动；

(4)阻尼力控制和调节方便简单，通过改变阻尼装置的通电电流就可以有效地控制阻尼力，可以实现自适应变阻尼装置；

(5)驱动器对音圈电机阻尼装置的工作条件实时监控，在紧急情况下将产生应急处理信号，保护阻尼器和驱动器的功率电路，增强了阻尼器的可靠性和安全性。