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同茂电机单轴精密直线电机模组平台
高精密直线电机模组
1,直驱平台行程：100mm/150mm/200mm/300mm/400mm/500mm/600mm；
2,直驱平台定位精度：±2.5um，双向重复定位精度：±0.75um；
直驱平台定位精度：±1.5um，双向重复定位精度：±0.25um；
3,直驱平台基础材料采用进口铝合金7075，有限元分析，一体化加工成型,减少因导轨和铝主体
不同的热膨胀系数引起的折弯效应；
4,直驱平台采用采用高性能同茂电机无铁芯U型槽直线电机驱动，持续推力在50N-680N，直线电机
采用欧美工艺及特殊磁路设计，直线电机动力性能强，推力特征稳定，速度波动小；
5,直驱平台集成具有好的线性表现的开放式增量光栅系统，可以提供亚纳米级的分辨率、重复性和稳定性。
6,直驱平台稳定的光学零位，保障双向回零的重复性和可靠性。
7,直驱平台经激光干涉仪标定补偿，可以轻易获得理想的定位精度，轻松实现您对于高精密定位的要求。
8,直驱平台平台拥有优良的设计，严苛的轴系装配工艺，具有高性能，高性价比，可以直接替换进口
使得HPL-LM系列直驱平台得以广泛适用于需要成本效益、精密解决方案的工业应用;
9,直驱平台应用领域：半导体晶圆检测、微电子组件测试、取放、DNA测序、激光加工等领域。
10,控制方案推荐：PMAC Clipper+Parker Aries系列驱动器（高精度，高动态响应）
Parker PAC+Parker Aries系列驱动器（高分布式高速运动总线）
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