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- [公司新闻]音圈电机有助于提升掩模对准曝光机定位精度和稳定性2024年02月28日 08:49
- 音圈电机的输出推力正比于电枢电流，线性度高。因此可以做到推力平稳、光滑，适用于力控制模式。无铁芯机构也使得动子惯量小，相比传统电机，有着较高的伺服带宽。由于音圈电机在应用中不需要传动设备，使得其工作中所受摩擦力仅仅来自于导轨的摩擦。这使得音圈电机系统具有较低的阻尼比。
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- [行业动态]音圈电机需求持续增长助力国产装备制造业向高精尖方向发展2022年07月22日 10:56
- 同茂电机TMmotion分析，随着我国装备制造业向高精尖方向发展，音圈电机需求量较大，包括光刻机、引线键合机等芯片、半导体加工设备均对需要音圈电机。从行业技术发展的趋势来看，提高音圈电机的推力、提高音圈电机的定位精度、减小音圈电机的体积将成为行业研发的热点，音圈电机将朝着高推力、高精度和小型化方向发展。
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- [公司新闻]同茂平板音圈电机非接触式主动阻尼装置优势有哪些？2022年03月24日 09:16
- 音圈电机阻尼装置可以为光刻机及其他的精密设备提供超静的环境。也可用作小型超精密设备、精密仪器的基础支撑。音圈电机阻尼装置与空气弹簧、液压隔振器等被动阻尼装置串联使用，亦可对大型设备、大型仪器实现精密减振。
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- [公司新闻]音圈电机非阻尼装置可以对光刻机及其他的精密设备平台实现精密减震2021年12月09日 14:19
- 音圈电机阻尼装置可以为光刻机及其他的精密设备提供超静的环境,同茂音圈电机因为推力稳定，一致性高，推力波动小等也可用作小型超精密设备、精密仪器的基础支撑。音圈电机阻尼装置与空气弹簧、液压隔振器等被动阻尼装置串联使用，亦可对大型设备、大型仪器实现精密减振。
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- [行业动态]直线电机音圈电机驱动的光刻机双工件台2021年08月05日 11:16
- 纳米级超精密气浮运动台，包含宏动模块与微动模块。微动模块采用自主研发的气浮轴承及音圈电机驱动，宏动模块主要采用U型无铁芯直线电机，可实现平面X、Y同步运动；采用激光干涉仪作为位置反馈，实现纳米级定位精度与重复定位精度。 我们常听到的光刻机工件台在扫描曝光过程中要求纳米级的定位精度,采用了长行程直线电机粗动加音圈电机高精密微动补偿的6自由度复合运动系统能满足要求。同时为减小微动电机的运动范围和加速度,得提高直线电机的轨迹跟踪精度。
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- [行业动态]国产光刻机双工件台供应商华卓精科科创板IPO获受理2020年06月25日 12:15
- 6月24日，上交所正式受理了北京华卓精科科技股份有限公司（简称“华卓精科”）科创板上市申请。 推动光刻机及其部件国产化 华卓精科长期专注于纳米级超精密测控技术，是国内领先的集成电路制造装备及其核心部件、精密/超精密运动系统及相关技术供应商。公司以光刻机双工件台这一超精密机械领域的尖端产品为核心，并以该产品的超精密测控技术为基础，开发了晶圆级键合设备、激光退火设备等整机产品，以及精密运动系统、隔振器和静电卡盘等部件衍生产品，应用领域覆盖集成电路制造、超精密制造、光学、医疗、3C制造等行业。
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- [行业动态]宁波材料所在阵列音圈电机方面取得重大进展2019年05月31日 10:39
- 为了实现高端IC制造光刻机的紧凑、高精密及多轴独立运行要求，团队提出了无铁心多层夹心阵列音圈电机结构，巧妙实现了在13cm长的空间内布局29个直线运动音圈电机单元。该结构每个单元音圈电机具有双层气隙，提高单元音圈电机的推力。
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- [行业动态]音圈电机应用之—光刻机2019年04月09日 11:52
- 光刻工艺最主要的工件就是掩模和基片。光刻机掩模台系统中音圈电机运动工况分为扫描运动和定位运动，其中扫描运动主要完成硅片曝光处理，该运动对定位精度以及速度稳定性有极高要求，在稳定基础上追求时间的优化。然而，在扫描运动过程中，频繁加减速对系统机械框架产生冲击，影响光刻机定位精度，因此，合理规划扫描运动轨迹至关重要。
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