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- [行业动态]直线电机音圈电机驱动的光刻机双工件台2021年08月05日 11:16
- 纳米级超精密气浮运动台，包含宏动模块与微动模块。微动模块采用自主研发的气浮轴承及音圈电机驱动，宏动模块主要采用U型无铁芯直线电机，可实现平面X、Y同步运动；采用激光干涉仪作为位置反馈，实现纳米级定位精度与重复定位精度。 我们常听到的光刻机工件台在扫描曝光过程中要求纳米级的定位精度,采用了长行程直线电机粗动加音圈电机高精密微动补偿的6自由度复合运动系统能满足要求。同时为减小微动电机的运动范围和加速度,得提高直线电机的轨迹跟踪精度。
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