- [行业动态]音圈电机(VCM)如何实现超高精密定位系统的驱动与控制?2019年04月18日 09:05
- 超精密定位系统中的定位运动主要根据微动台偏转角来补偿另一个方向的位置误差,并以最短的时间精确定位到目标位置。而音圈电机(VCM)是一种基于洛伦兹力原理设计的直线电机,其具有结构简单、体积小、加速度高和响应快等特点,广泛应用于超精密定位系统中,在IC制造业中有广泛应用
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