- [行业动态]宁波材料所在阵列音圈电机方面取得重大进展2019年05月31日 10:39
- 为了实现高端IC制造光刻机的紧凑、高精密及多轴独立运行要求,团队提出了无铁心多层夹心阵列音圈电机结构,巧妙实现了在13cm长的空间内布局29个直线运动音圈电机单元。该结构每个单元音圈电机具有双层气隙,提高单元音圈电机的推力。
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