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- [公司新闻]音圈电机有助于提升掩模对准曝光机定位精度和稳定性2024年02月28日 08:49
- 音圈电机的输出推力正比于电枢电流，线性度高。因此可以做到推力平稳、光滑，适用于力控制模式。无铁芯机构也使得动子惯量小，相比传统电机，有着较高的伺服带宽。由于音圈电机在应用中不需要传动设备，使得其工作中所受摩擦力仅仅来自于导轨的摩擦。这使得音圈电机系统具有较低的阻尼比。
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