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- [行业动态]音圈电机直线旋转功能能辅助提升碳化硅芯片性能与寿命？2023年11月13日 16:27
- 音圈电机直线旋转ZR电机系统高度集成了直线+旋转高精度运动控制功能：直线重复定位精度±2 μm、旋转重复定位精度±0.01°、直线度±2 μm、径向偏摆±1 μm。这些性能指标能有效助力设备在银烧结过程中实现更高的精确性和稳定性。
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