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- [行业动态]音圈电机精密定位平台提升太赫兹时域光谱仪检测能力2022年04月11日 09:30
- 当光栅尺和读数头的精度均设置为20μm时，数据采集时，得到的太赫兹光谱仪频域信号在4.8THZ之前信号平稳，提高装置的整体检测性能。当音圈电机4的行程从8mm更改成16mm，则根据光程＝2*行程/光速，对应的光程从53ps提升到106ps，
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