- [公司新闻]同茂平板音圈电机非接触式主动阻尼装置优势有哪些?2022年03月24日 09:16
- 音圈电机阻尼装置可以为光刻机及其他的精密设备提供超静的环境。也可用作小型超精密设备、精密仪器的基础支撑。音圈电机阻尼装置与空气弹簧、液压隔振器等被动阻尼装置串联使用,亦可对大型设备、大型仪器实现精密减振。
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- [公司新闻]音圈电机非阻尼装置可以对光刻机及其他的精密设备平台实现精密减震2021年12月09日 14:19
- 音圈电机阻尼装置可以为光刻机及其他的精密设备提供超静的环境,同茂音圈电机因为推力稳定,一致性高,推力波动小等也可用作小型超精密设备、精密仪器的基础支撑。音圈电机阻尼装置与空气弹簧、液压隔振器等被动阻尼装置串联使用,亦可对大型设备、大型仪器实现精密减振。
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