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- [行业动态]音圈电机促进集成电路制备领域微动台有更好运动精度及降低成本2022年02月22日 12:24
- 音圈电机因为是直驱电机，结构简单，响应快，高速高加速，配合合适的结构及位置反馈及驱动器，可以达到微米级 运动位置精度；在半导体硅片膜厚的检测领域，音圈电机也发挥着非常重要作用；
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