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[行业动态]音圈执行器直击MEMS激光雷达量产核心2022年05月19日 14:28: 音圈执行器贴装头精密高精度对位、贴片以及软着陆功能能够以非常轻的压力触碰MEMS元件，降低损耗，提升产能；圈执行器利用音圈电机具有高响应、高加速度、高速度、体积小的特点，与导轨和编码器组合，构成闭环系统——音圈电机执行器。音圈执行器高精度对位、贴片，保证良率；集成进口精密级高刚性导轨，微米级位置反馈，结构简单紧凑可靠，稳定好高，直线重复定位精度可高于±5μm，旋转重复定位精度可高于±0.025°，力控精度可高于±5g，径向偏摆小于10μm，编码器分辨率可高于1μm，可在高速运行状态下仍稳定输出，提升良率及可靠性。; 阅读（51）标签：音圈执行器贴装头|音圈执行器|音圈电机|MEMS激光雷