- [行业动态]直线电机音圈电机驱动的光刻机双工件台2021年08月05日 11:16
- 纳米级超精密气浮运动台,包含宏动模块与微动模块。微动模块采用自主研发的气浮轴承及音圈电机驱动,宏动模块主要采用U型无铁芯直线电机,可实现平面X、Y同步运动;采用激光干涉仪作为位置反馈,实现纳米级定位精度与重复定位精度。 我们常听到的光刻机工件台在扫描曝光过程中要求纳米级的定位精度,采用了长行程直线电机粗动加音圈电机高精密微动补偿的6自由度复合运动系统能满足要求。同时为减小微动电机的运动范围和加速度,得提高直线电机的轨迹跟踪精度。
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- [行业动态]直线电机(直线马达)新型3D技术的便捷2019年06月05日 12:49
- 直线电机(直线马达)新型3D技术的便捷。新3D打印技术的另一个特殊之处在于,它使用由银片制成的专用墨水,其不同于需在100摄氏度高温下固化的3D打印油墨,室温下就能固化和导电。
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- [行业动态]什么是无铁芯(U型)直线电机?2017年11月17日 09:47
- 无铁芯直线电机是一种新型的特种电机, 无铁芯直线电机的施力部件是放在两个磁轨之间。它们也称为U通道电机。施力部件的线圈中没有任何铁芯,这就叫无铁芯电机,也被称为U型直线电机。而直线电机是一种将电能直接转换成直线运动机械能的电力传动装置。 U型无铁芯直线电机 U型直线电机的铜绕组是包封起来的,位于两排磁体中心的气隙内。由于电机内是没有铁芯,以是在施力部件和磁轨之间便不会孕育发生吸引力或齿槽力。 U型直线电机中的施力部件的质量比有铁芯电机中的施力部件质量每每更小,因而这种
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