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激光快速反射镜(一维/二维）
1，一维摆动技术指标：机械转角：±3°；闭环带宽：150Hz；
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2，分 辨 率：1″；重复定位精度：10″；工作温度：-40℃-+50 ℃；
3，二维摆动技术指标：机械转角：±3.6°× ±3.6°；闭环带宽：>150Hz；
4，分 辨 率：0.2″（1urad)；重复定位精度：2″；
5，工作温度：-40℃-+50 ℃；
6，温度补偿技术，全温区精度稳定；
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激光扫描-高精密五轴联动
客户要求：
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1，X轴有效匀速扫描距离：360mm，速度100mm/s，可以到速度300mm/s；
2，Y轴有效匀速扫描距离：500mm，速度100mm/s，可以到速度300mm/s；
3，旋转A：110度；旋转B：360度；速度60rad/s；
4，Z轴行程260mm，速度200mm/s；
5，重复定位精度5um以内；
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