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: 半导体制程_PCB激光直写设备

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1，双向重复定位精度：3μm；
2，直线度：10μm；
3，平面度：15μm；
4，偏航角误差：10arc sec;
5，1.0um位置精度（稳态误差），1mm点定位时＜100ms；
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客户要求：
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