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半导体制程_IC芯片高速高精度贴片
客户要求：
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1，该方案采用高速、高精度、高动态特性的笛卡尔龙门坐标轴设计；
2，分辨率：1Vpp Sin/Cos （典型推荐分辨率5nm）；
3，双向重复定位精度：±0.75μm（Base）±0.4μm（Plus）；
4，定位精度（线性误差修正）：±3μm（Base）±1μm（Plus）；
5，正交误差：10arc sec；
6，最大工作速度：2000mm/s；
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同茂音圈电机半导体制作应用
用音圈电机制造更精确的半导体元件，我们经常都需要对制造出来的半导体元件进行检测，而新换的检测设备是用音圈电机的，移动起来十分平滑，能够达到微米级别，使得元件检测更简单。
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