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- [行业动态]“金贵”的第三代半导体材料，音圈执行器封装过程中降低其“受损率”2022年05月09日 09:24
- 音圈执行器贴装头是高效贴片机较理想的方案；音圈执行器利用音圈电机具有高响应、高加速度、高速度、体积小的特点，与导轨和编码器组合，构成闭环系统——音圈电机执行器。
- 阅读（37）
- [公司新闻]音圈执行器提升贴片机三大指标，其是贴装设备厂商攻占市场的重要因素2022年05月05日 11:27
- 音圈执行器贴装头是高效贴片机较理想的方案；音圈执行器利用音圈电机具有高响应、高加速度、高速度、体积小的特点，与导轨和编码器组合，构成闭环系统——音圈电机执行器。
- 阅读（82）
- [行业动态]音圈电机在倒装固晶机上实现高精度应用2022年01月18日 17:42
- 倒装固晶机在直线运动结构上主要采用了音圈电机，他们共同的特点是配合合适的位置编码器及机械结构可以获取较高的重复定位精度，目前这类固晶机XY贴装精度可达10um以内；
- 阅读（112）
- [行业动态]直线电机音圈电机驱动的光刻机双工件台2021年08月05日 11:16
- 纳米级超精密气浮运动台，包含宏动模块与微动模块。微动模块采用自主研发的气浮轴承及音圈电机驱动，宏动模块主要采用U型无铁芯直线电机，可实现平面X、Y同步运动；采用激光干涉仪作为位置反馈，实现纳米级定位精度与重复定位精度。 我们常听到的光刻机工件台在扫描曝光过程中要求纳米级的定位精度,采用了长行程直线电机粗动加音圈电机高精密微动补偿的6自由度复合运动系统能满足要求。同时为减小微动电机的运动范围和加速度,得提高直线电机的轨迹跟踪精度。
- 阅读（245）
- [高精度陶瓷基片微孔加工]高精度陶瓷基片激光微孔加工2020年02月13日 16:46
- 1，双向重复定位精度：±1μm；
2，平台具备快速定位能力，稳态时间＜100ms；
3，2mm快速点定位，要求运动时间＜70ms；
4，激光打孔工作时间15ms，要求单孔加工＜185ms，即5-6孔/min；
5，XY单独运动，没有插补运动；
6，材质陶瓷基片； - 阅读（189）
- [公司新闻]音圈电机性能参数及选型2020年02月12日 13:13
- 音圈电机平台参数：
1， 加速度：每单位时间的速度变化量；
2， 加速时间：速度从0加速到所需速度的时间；
3， 分辨率：系统采用的位置反馈装置本身可以测量的最小距离；
4， 重复定位精度：从同一点向同一方向多次移动相同的命令距离，每次实际位移量的差别； - 阅读（3112）
- [直线电机精密点胶]直线电机高速精密点胶2020年02月12日 12:05
- 直线电机高速精密点胶
直线电机平台模组XY轴
速度可达：1000mm/s
重复定位精度：0.005mm - 阅读（166）
- [激光系统]激光快速反射镜(一维/二维）2020年01月04日 09:52
- 1，一维摆动技术指标：机械转角：±3°；闭环带宽：150Hz；
2，分 辨 率：1″；重复定位精度：10″；工作温度：-40℃-+50 ℃；
3，二维摆动技术指标：机械转角：±3.6°× ±3.6°；闭环带宽：>150Hz；
4，分 辨 率：0.2″（1urad)；重复定位精度：2″；
5，工作温度：-40℃-+50 ℃；
6，温度补偿技术，全温区精度稳定； - 阅读（613）
- [生物医疗]生物细胞分析2020年01月03日 12:19
- 1，滑动平台电机采用矩形音圈电机作为驱动，平台本体材质为铝7075精密加工；
2，平台导轨采用日本NB微米级精度的交叉滚珠导轨；
3，平台编码器采用MICROE的3000系列的，根据配置此编码器的分辨率为0.1um的；
在此基础配合合适的驱动器，重复定位精度可达到为±0.3um. - 阅读（91）
- [半导体设备]半导体制程_PCB激光直写设备2020年01月03日 11:54
- 客户要求:
1，双向重复定位精度：3μm；
2，直线度：10μm；
3，平面度：15μm；
4，偏航角误差：10arc sec;
5，1.0um位置精度（稳态误差），1mm点定位时＜100ms； - 阅读（190）
- [激光系统]激光扫描-高精密五轴联动2020年01月03日 10:59
- 客户要求：
1，X轴有效匀速扫描距离：360mm，速度100mm/s，可以到速度300mm/s；
2，Y轴有效匀速扫描距离：500mm，速度100mm/s，可以到速度300mm/s；
3，旋转A：110度；旋转B：360度；速度60rad/s；
4，Z轴行程260mm，速度200mm/s；
5，重复定位精度5um以内； - 阅读（132）
- [半导体设备]半导体制程-分选包装2020年01月03日 10:33
- 客户要求：
1，行程10mm；
2，2mm行程10ms；
3，Z轴应用；
4，重复定位精度10um； - 阅读（103）
- [半导体设备]半导体制程_IC芯片高速高精度贴片2020年01月03日 10:29
- 客户要求：
1，该方案采用高速、高精度、高动态特性的笛卡尔龙门坐标轴设计；
2，分辨率：1Vpp Sin/Cos （典型推荐分辨率5nm）；
3，双向重复定位精度：±0.75μm（Base）±0.4μm（Plus）；
4，定位精度（线性误差修正）：±3μm（Base）±1μm（Plus）；
5，正交误差：10arc sec；
6，最大工作速度：2000mm/s； - 阅读（116）
- [激光系统]激光微加工_高速高精度陶瓷基片微孔加工2020年01月03日 09:39
- 客户要求：
1，双向重复定位精度：±1μm；
2，平台具备快速定位能力，稳态时间＜100ms；
3，2mm快速点定位，要求运动时间＜70ms；
4，激光打孔工作时间15ms，要求单孔加工＜185ms，即5-6孔/min；
5，XY单独运动，没有插补运动； - 阅读（361）
- [行业动态]直线电机音圈电机在倒装固晶机上实现高精度应用要求2019年09月23日 11:33
- 倒装固晶机在直线运动结构上主要采用了直线电机和音圈电机，他们共同的特点是配合合适的位置编码器及机械结构可以获取较高的重复定位精度，目前这类固晶机XY贴装精度可达10um以内；
- 阅读（96）
- [行业动态]对音圈电机模组的位置环控制设计的研究2019年09月05日 08:44
- 音圈电机模组的位置环控制设计，在电机控制领域模糊控制的应用也十分广泛，因为模糊控制的诸多优点十分适用于电机的位置闭环控制，如对位置反馈信号的响应时间短，对于外部参数的变化不会产生剧烈影响，属于鲁棒性非常强的控制系统，适合于音圈模组闭环控制系统对动态性能、重复定位精度、系统稳定性等方面的要求
- 阅读（123）
- [行业动态]直线电机在固晶机精密点胶上的应用2019年08月31日 15:38
- 同茂直线电机驱动的高精密点胶机可实现高速度、高精度、高重复性的点胶作业，适用于底部填充、腔体填充、晶圆粘贴、零件涂覆保护、贴合密封等，特别适用于大批量的生产加工，广泛应用于LED背光源（直下式/侧光式）灯条lens组装、半导体封装和组装生产过程中的多种胶水材料的高速喷射点胶作业。直线电机驱动的高精密点胶机X/Y轴移动速度可达1000mm/s，配置合适的光栅编码器及导轨，重复定位精度可达正负0.005mm。
- 阅读（244）
- [公司新闻]科普直线电机（直线马达）的重复精度和定位精度2019年05月28日 09:30
- 直线电机的定位精度是有个原点位做参照，每次定位精度都以原点位来计算精度误差，重复定位精度就是没有原点位置，每次定位都是不规则的两点之间的位置精度。
- 阅读（1850）
- [公司新闻]音圈电机驱动的点胶机避免“封胶漏点”2019年05月13日 09:23
- 音圈电机驱动的高精密点胶机可实现高速度、高精度、高重复性的点胶作业，适用于底部填充、腔体填充、晶圆粘贴、零件涂覆保护、贴合密封等，特别适用于大批量的生产加工，广泛应用于LED背光源（直下式/侧光式）灯条lens组装、半导体封装和组装生产过程中的多种胶水材料的高速喷射点胶作业。直线电机驱动的高精密点胶机X/Y轴最大移动速度可达1000mm/s，配置合适的光栅编码器及导轨，重复定位精度可达正负0.005mm。
- 阅读（227）
- [行业动态]音圈伺服电机驱动的振镜扫描系统更加灵活准确2019年04月15日 10:10
- 振镜扫描系统同转镜式扫描系统相同，这种典型的控制系统采用了一对折返镜，不同的是，驱动这套镜片的步进电机被音圈伺服电机所取代，在这套控制系统中，位置传感器的使用和负反馈回路的设计思路进一步保证了系统的精度，整个系统的扫描速度和重复定位精度达到一个新的水平。
- 阅读（589）
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