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- [公司新闻]直线电机驱动的一维高精密位移台可媲美气浮轴承2017年05月26日 11:06
- 直线电机精密一维平台采用高性能的U型直线电机进行驱动，配备纳米级别分辨率的光栅反馈系统及运动控制系统，兼顾了性能和可靠性双重设计之间的平衡。采用机械轴承的平台能够媲美采用气浮轴承的平台所能达到的精度水平。其广泛的产品系列应用于精密光学、超高精度加工制造、半导体制造、高精度自动化设备。
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- [公司新闻]直线电机驱动的二维高精密位移台媲美气浮轴承2017年05月24日 10:10
- 直线电机精密二维平台采用内置高性能的U型直线电机进行驱动，配备纳米级别分辨率的光栅反馈系统及运动控制系统，兼顾了性能和可靠性双重设计之间的平衡。采用机械轴承的平台能够媲美采用气浮轴承的平台所能达到的精度水平。
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