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直线电机丝网印刷工艺中的悬浮网板技术
悬浮网板技术结合使用直线电机直接驱动技术和气浮轴承技术。直线电机单元具有±2μm的定位精度和高动态响应特性，无中间传动机构的直接驱动技术和无接触无摩擦的...【详细】
- 282024-02
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音圈电机有助于提升掩模对准曝光机定位精度和稳定性
音圈电机的输出推力正比于电枢电流，线性度高。因此可以做到推力平稳、光滑，适用于力控制模式。无铁芯机构也使得动子惯量小，相比传统电机，有着较高的伺服带宽...【详细】
- 152024-01
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同茂直线旋转音圈电机助力高端元器件制造
共晶贴片机，它可以执行共晶贴片、热塑形变贴片，和其它需要在吸头或工作台上进行加热的贴片工艺。同茂直线旋转音圈电机ZR可应用于共晶贴片机中IGBT芯片的贴合，...【详细】
- 252023-12
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音圈电机在碳化硅SiC芯片脱蓝膜应用上有哪些优势？
音圈电机精准力控软着陆，降低损耗。同茂直线旋转电机带有“软着陆”功能，搭配小推力常数音圈电机可实现±1g以内的稳定力度控制，支持速度、加速度及力度控制的...【详细】
- 132023-11
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音圈电机直线旋转功能能辅助提升碳化硅芯片性能与寿命？
音圈电机直线旋转ZR电机系统高度集成了直线+旋转高精度运动控制功能：直线重复定位精度±2 μm、旋转重复定位精度±0.01°、直线度±2 μm、径向偏摆±1 μm。这...【详细】
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