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半导体制程_PCB激光直写设备
客户要求:
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1，双向重复定位精度：3μm；
2，直线度：10μm；
3，平面度：15μm；
4，偏航角误差：10arc sec;
5，1.0um位置精度（稳态误差），1mm点定位时＜100ms；
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激光扫描-高精密五轴联动
客户要求：
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1，X轴有效匀速扫描距离：360mm，速度100mm/s，可以到速度300mm/s；
2，Y轴有效匀速扫描距离：500mm，速度100mm/s，可以到速度300mm/s；
3，旋转A：110度；旋转B：360度；速度60rad/s；
4，Z轴行程260mm，速度200mm/s；
5，重复定位精度5um以内；
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半导体制程-分选包装
客户要求：
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1，行程10mm；
2，2mm行程10ms；
3，Z轴应用；
4，重复定位精度10um；
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